公开号：	US2006152231A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	材料电容式测量的方法和仪器
摘要：	本发明提出了使用一个远离薄膜的测量头，根据电容厚度测量对薄膜，金属薄片或材料层进行测量的方法。使用一个距离测量设备进行光学距离测量，由光学距离测量测得的距离用来在容性厚度测量中确定薄膜的厚度。