公开号：	US2006152243A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	使用电容耦合信号测量设备的系统和方法
摘要：	本发明提出了在交流测试模式下测量半导体或设备的仪器和方法。测试仪器包括一个测试板电容耦合到集成电路的信号终端。测试板耦合到一个测试接收电路以接收和输出耦合到集成电路的信号终端检测到的数据信号。另一种方法，测试板耦合到测试发射电路以发送数据信号到信号终端。一个测试设备耦合到半导体设备上以测试标准评估被探测到的数据信号。测试和评估由电容耦合测试板到多个信号终端实现。从信号终端传送的数据信号根据测试标准进行评估。