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企业难题需求
公开号: US2007012116A1
大类:国外
行业类型:仪器
行业内分类:测量
专利名:发明名称:宽量程组合真空计
摘要:摘要:一个组合真空计提供了一个同时测量绝对和差压的压力测量装置,具有宽量程,从大气压到超高真空压力,通过处理绝对超高真空压力(例如,一个电离真空计和或热亏损传感器)的读数和绝对或差分低真空计(例如,膜片传感器)的读数,通过一个共同的端口,在测量范围内测量压力,及一个大气压的绝对压力传感器暴露在测量范围外的空气中。绝对压力传感器的气压读数可用于转换差分真空压力表的读数,由无标定差分压力到校准的绝对压力,或者转换绝对真空压力表的读数,从绝对压力到差分压力。
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