| 摘要： | 这里讲的是借光束产生“SPF气”气流光谱纯度过滤器（SPFS），尤其是允许包括极端紫外线（EUV）光束的气流通过。SPF位于含有接收超紫外线光束并能提供给下游超紫外线光学系统的系统中，其中，源自光源的光束通过SPF传递到光学系统中。气态SPF被制定和配置用来拓展至少一个波长波段的超紫外光束在其通过SPF系统过程中。为了拓展超紫外辐射波长带宽，一种典型的SPF气体就是ZrCl<SUB>4</SUB>，SPF气流可以被包在插入的惰性气流中。气态SPF可用在真空的环境，使用SPF气时如果用了屏蔽气，那还可以再收集。 |