公开号：	US2008149862A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	医学技术
专利名：	激光产生的等离子体EUV光源
摘要：	一种EUV光源，包括多个目标，例如，锡滴，和一个生成预脉冲和主脉冲的系统，住脉冲用来照亮目标以扩大目标。该系统可进一步包括一个不断发射激光的设备，产生主脉冲，这个主脉冲伴随着用于照亮扩大目标来制造EUV光脉冲的主脉冲。该系统还可能有一个控制器，能够产生在不同的预脉冲参数。此外，EUV光源可能还包括一台仪器，在EUV光脉冲产生一个预先选择的计量之时，用于测量至少一个EUV光脉冲的强度，并为控制器提供反馈信号，用于改变至少一个预脉冲参数。