公开号：	US2007286766A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	医学技术
专利名：	真空反应的半导体设备和液晶制造设备泵室
摘要：	该仪器包括血浆在其中是天然气一氟或氯气供应单位，氟或氯的来源，在排气和等离子源供给机制转换成氟或氯气过程中，出现氟或氯气体自由基。该离子源供给机制包括一个射频发生器，天线周围的等离子室，氟或氯或氟氯气自由基在收到为选择供应射频继电器开关的射频功率，和一个控制器来控制射频功率。