公开号：	US2007022820A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	发明名称：裂纹基板的检测装置
摘要：	摘要：这里介绍了一种基板的检测装置，其中包括一个输送机用来传送基板，一个传感器用来检测每个被传送的基板的长度，且输送机在基板的上面，以及处理器，它可以比较每个被传送的基板检测长度值与保存的预定长度值，为的是当检测到的长度值与预定长度值不相等时立即停止输送。在一个替代形式中，每个基板通过传感器的时间值作为判断的参数。