公开号：	US2006163500A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	医学技术
专利名：	消除碎片的极端紫外线辐射光源装置
摘要：	为抑制由于辐射燃料如锡或类似的碎片粘附，在密室中使极端紫外线辐射光源装置形成高密度和高温等离子体，高效消除沉积锡和/或锡化合物，氢基产生部分在容室里提供，以致沉积锡和/或锡化合物在低温装置中被抑制，如聚焦反射镜或类似物件，沉积锡和/或锡化合物被消除。