公开号：	US2007168000A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	医学技术
专利名：	用于冷却激光使用的隔热流体的仪器和方法
摘要：	一个半导体设备系统包括一个器室，一个或多个在器室里面的半导体器件，可以发光的发光器和在器室里面的隔热流体。隔热流体可能是连接半导体器件和发光器的从而降低半导体器件的温度。隔热流体可能包括去离子水。