公开号：	US7385212B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	医学技术
专利名：	光学系统回收器、光源元件、照明光学器和曝光装置
摘要：	提供一个通过由等离子光源组成的光源元件的紫外线光源元件，一个有旋转椭圆表面的收集镜面和一个等离子光源落在上面的第一焦点和一个有球形表面的辅助收集镜面和一个当等离子光源发生从位移而落在上面的球形中心。