公开号：	US2008011934A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	建筑及耐火材料
专利名：	压印光刻
摘要：	压印光刻模板的制备方法包括选用可固化材料附着在主印记模板表面，通过固化材料的固化形成第二表面有主印记模板相反图案的压印模板；从主印记模板去除第二印记模板；涂无机溶胶-凝胶于基底上；无机溶胶-凝胶被第二印记模板压印；使无机凝胶-溶胶固化；从固化的无机溶胶-凝胶上去下第二印记模板，由此此固化了的无机溶胶-凝胶形成了第三模板，并且此模板表面具有与主印记模板相一致的图案。