公开号：	US2006276113A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	橡胶
专利名：	抛光布，抛光仪器和制造半导体设备的方法
摘要：	本发明描述了了一种抛光布，它有一个含有一种通过与水介质发生水解反应而得到的聚合物材料的抛光层，即使很长时间不打理仍能够呈现出稳定的抛光性能。