公开号：	US2007027225A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	橡胶
专利名：	多空介电薄膜的制备
摘要：	本发明提供了一种制备多空介电薄膜的方法，这种介电薄膜的含有膜发生材料（由二价染色体洗涤剂和/或烷基季铵盐构成）、热稳定的有机或无机母体前驱体和溶解这两种固体物质的溶剂。还提供了一种内层绝缘膜，这种绝缘膜具有优良的半导体装置所需的机械性能，例如硬度、模数、吸水率。