公开号：	US2007056366A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	流量传感器
摘要：	本发明提供一种具有高灵敏度的流量传感器技术，通过一个绝缘膜，在半导体基板上形成一个高电阻温度系数的金属薄膜。测量装置包括一个加热元件，电阻温度探测器（上游旁侧电阻温度探测器和下游旁侧电阻温度探测器）以及一个空气电阻温度探测器。该测量装置是个热液流体传感器。这些空气电阻温度传感器都形成了第一金属薄膜。第一金属薄膜有一个alpha-Ta薄膜组成，电阻率低于Ta锭电阻率三倍。这种薄膜可以通过在含有金属的非晶体薄膜上采用溅射沉积的方式获得。