公开号：	US2006220253A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	橡胶
专利名：	多孔型薄膜、以及这种薄膜的成分和制备方法、层间绝缘膜、半导体器件
摘要：	一种可以形成多孔状薄膜的混合物包括以下三种成分：（A）分子量大于100的可固化的硅胶树脂；（B）可形成胶束的表面活性剂；（C）热解过程中生成酸的化合物，这种混合物在储存过程中很稳定。这种通过涂膜和热处理制得的多孔膜具有平整性、均匀性、低介电常数和高机械强度等特性，因此适合应用在半导体器件制造中的层间绝缘膜上。