公开号：	US2006276113A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	橡胶
专利名：	制造半导体器件的抛光布、抛光设备以及方法
摘要：	本发明公布了一种含有聚合物材料的抛光布，含有的聚合物材料能够在水中水解，并且在相对较长的时间内，不需要更换，能够表现出稳定的抛光性能。