公开号：	US2006146311A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	橡胶
专利名：	曝光装置
摘要：	本发明涉及到一种曝光装置。在这个装置中光源发出的光通量在鲍英卡勒偏振球中连续地转化为相互垂直的偏振光束输出。偏振光束被注入到投影光学系统或转换为修正偏振光束的装置中。当在修正偏振光束的光路中适当地植入线性偏光器或线性相位延迟器时，光强度被测量出来。修正偏振光束的托克斯参数可以用记录的光强度计算出来。