公开号：	US2007062294A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	压力传感器以及制造压力传感器的方法
摘要：	本发明志在提供一种具有极其稳定的密封压力参考箱的压力传感器以及制造压力传感器的方法。一个活动电极安装在隔膜的反面。光圈安装在压力接收基板上。反电极安装在反基板上相反于活动电极的区域里。活动电极这边，一个导电薄膜、一根端子线作为导电线（导线）安装在通孔的内部表面。另外，反电极这边，一根导线、一个导电薄膜，相反于导线并形成一个联络点。导电薄膜与端子线作为导线。压力接收基板以及反基板通过导电薄膜，阳极粘合在一起。含有隔膜另一个表面的特殊区域被密封。