公开号：	US2007083016A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	高分子化合物
专利名：	光敏聚酰亚胺组合物
摘要：	本发明公开了一种含有预热亚胺化芳香族聚酰亚胺的树脂组合物。把所述树脂组合物涂覆在硅片上，其在波长365nm处有至少1%的透光率，且固化后残余应力较低。所述组合物通过I-line曝光，用有机或碱性溶液显影后，可以形成图案，可以在相对温和的温度形成低压聚酰亚胺图案。使用所述聚酰亚胺图案的电子器件具有较高可信度。