公开号：	US2007087662A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	摩擦力传感器在抛光系统中的应用
摘要：	本文介绍的是在抛光作用下基材摩擦系数的监测的一种系统、方法和设备。一套抛光设备包括：包含抛光面的抛光层，与抛光面灵活连接的基材连接件，其顶部表面和基材暴露面相连。顶端面至少有一部分与抛光面完全共面。通过传感器测量出基材连接件的横向位移。有些具体应用中，在化学机械抛光以显示底层的过程中可能会提供精确地终止点。