公开号：	US2006160475A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	涂料黏合剂
专利名：	用于金属及相关材料的化学机械抛光组合物及方法
摘要：	用于研磨铜，防潮材料和电介质材料的一种化学机械研磨浆料由第一和第二两级浆料组成。第一级浆料有高的铜去除率和低的防潮材料去除率，第二级浆料有高的防潮材料去除率和低的铜和电介质材料去除率。第一级浆料至少含有一种有机聚合物磨料。