公开号：	US2006207635A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	涂料黏合剂
专利名：	防潮材料抛光液
摘要：	抛光液用于抛光半导体基片上的含钽防潮材料。抛光液包括含有至少两个氮原子组成的亚胺结构的含氮化合物及肼化物。含氮化合物消除吸电子取代基；抛光液能够在不腐蚀的前提下将含钽防潮材料从半导体基片表面清除。