公开号：	US2006258267A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	涂料黏合剂
专利名：	抛光剂及其抛光方法
摘要：	本发明的抛光剂包含氧化铈抛光粉，且其表面上有二氧化硅细纹吸附层。此抛光剂用于抛光包括板层小体及其上的二氧化硅氧化层。板层小体含有一个由单晶硅或多晶硅构成的半导体基片，氧化硅薄膜排列在半导体基片上，表面有细纹结构。抛光剂用于消除部分细纹外部的二氧化硅。