公开号：	US2007023731A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	涂料黏合剂
专利名：	化学机械研磨浆料及方法
摘要：	用于化学机械抛光的含水研磨浆料可以有效的以高磨光率抛光铜。本发明的含水研磨浆料包含能溶解于氧化剂的钼和钼酸的可溶盐。通过化学机械平坦化处理手段对铜低压抛光的方法是使用抛光垫和含水浆料，含水浆料包括能溶解于氧化剂的钼和钼酸的可溶盐以及三氧化钼和二氧化钼颗粒。