| 摘要： | 提高电导率不会导致抛光粉的凝结或沉淀。另外，好的平面化处理被认为不会导致被抛光的金属薄膜或布线产生缺陷。在这种通过移动金属薄膜表面滑动触点上的抛光垫来实现对金属薄膜表面平面化处理的电抛光方法中，需要同时通过电抛光液E的电解作用氧化金属薄膜表面，而这种这种电抛光液E至少包含抛光粉和能保持抛光粉蓄静电态的电解液。一旦高电导率的电抛光液投入使用，很可能会得到高的电解电流，并需要增大电极之间的距离。此外，在电抛光方法中，使用这种带有具备较好分离态抛光粉的电抛光液，能阻止残留下的抛光粉和缺陷如刮擦痕在抛光中的发电现象。 |