公开号：	US7452426B2
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	涂料黏合剂
专利名：	用于化学机械平坦化处理的含有表面活化剂的工艺液
摘要：	含有一种或者多种表面活化剂的工艺液用来降低半导体器件制造中的缺陷数。在一些具体的设备中，本发明的工艺液可以在化学机械平坦化处理过程中及其之后，作为清洗溶液减少缺陷。本发明的工艺液能够为多种化学机械平坦化处理过的基片的减少缺陷。