公开号：	WO2006081470A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	涂料黏合剂
专利名：	用于基片表面的抛光剂及方法
摘要：	提供用于去除几篇表面的传导材料和防潮材料的抛光剂及方法。这种混合物通过化学机械抛光过程或者电化学机械抛光过程去除至少一种防潮材料。这种用于防潮材料去除的抛光剂可能进一步用于传导材料的电化学机械平面化进程。在此描述的抛光剂及方法能提高有效去除率，并能够减少平面化缺陷。