公开号：	US2006164112A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	低电流纵向耦合振动探针板
摘要：	本发明讲述了用以测量流过毫微微安区域电流的低电流纵向耦合振动探针卡，包括具有在两介质层之间的导电轨迹层的薄板。多个探针设备，如陶瓷刀片，安装在中心开口的边缘，因此探针尖或探针处于开口的下面以测量测试主体的工件壁厚。多个纵向耦合振动针连接到衬垫集，每个都包括一个保护衬垫，占用了薄板的周围。每个保护衬垫都电气连接到导电层的导电轨迹上。衬垫集低噪声电缆或导线连接到探针设备。空气带将衬垫集和信号调整时间隔离。