公开号：	US2006163206A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	表面加工应用材料
专利名：	新型抛光浆料和有多功能催化剂自由研磨的溶液
摘要：	本发明涉及含水泥浆/化学机械抛光液成分/平面化的基底。特别是，目前这种新发明的新型浆料/溶液含有多功能的催化剂，催化剂提高了抛光泥浆水溶液/溶液除铜速率，同时抑制各向同性化学腐蚀和铜线的表面凹陷。