公开号：	US2007091318A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	表面的光学分析方法和仪器
摘要：	被测物体表面的光学分析方法和仪器采用扫描干涉测量系统，从被测物体表面产生视窗化的干涉测量信号，来描述被测物体表面特性。