公开号：	US2006196850A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	表面加工应用材料
专利名：	抛光液的组成及使用的方法
摘要：	抛光液成分包括研磨剂，pH值调节剂，水溶性增稠剂，和螯合剂，其中螯合剂包括至少一种醋酸螯合剂和一种磷酸盐螯合剂，及其使用方法。