公开号：	US2006213126A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	表面加工应用材料
专利名：	具有较高分散稳定性的抛光浆料制备方法
摘要：	本发明涉及一种改进的方法制备抛光液，抛光液含有抛光颗粒和水溶的聚阴离子酸，然后加入产生色散的碱性材料量为抛光颗粒的0.1%至8%。通过本发明的方法得到的抛光浆料具有良好的分散稳定性和非Prestonian抛光性能，这种浆料可有利应用到各种精密电子设备化学机械抛光。