公开号：	US2006249395A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	表面加工应用材料
专利名：	电化学机械抛光的组成和处理方法
摘要：	本文提供了具有导电基板材料层的加工方法以及材层料的组成成分。在一种实施方案中提供了一个用于处理具有导电基板材料层的倾向。导电基层的成分包括一种酸性基质的电解液，螯合剂，缓蚀剂，一种钝化的高分子材料，pH值调节剂，匀染剂溶剂，并且pH在大约3到10之间。这些成分用于在导电材料层上面形成钝化层，打磨钝化层来露出导电材料层的部分，向基板施加偏压，并消除导电材料层。