公开号：	US2007051700A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	表面加工应用材料
专利名：	清洗基质的组成和及其形成浇口的合成方法
摘要：	本发明提供一种包括含氟化合物，无机酸，去离子水的清洗基质，及其形成浇口的方法。氟化合物是HF,NH4F中的一种或其混合物，无机酸是HNO3,HCI,HCIO4,H2SO4,H5IO6中的一种。这种清洗基质除去因刻蚀金属层形成浇口的聚合物副产物，而不除去其他层。