公开号：	US2007075290A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	表面加工应用材料
专利名：	可滤过的表面活性剂
摘要：	本发明提供了一种在半导体设备中合并蚀刻剂方面有特殊功效的改进的水溶性表面活性剂。这种表面活性剂由线性全氟羧酸，环胺和脂肪醇的组成。