公开号：	US2007107750A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	表面加工应用材料
专利名：	用NF除去化学气相沉积室表面沉淀物技术
摘要：	本发明提出了一种采用等离子体清洗表面沉积物的方法，如清理沉积室内部。该过程是激活一个含有氧气，NF3，碳氟化合物的气体流，这个混合气体流与表面接触以去除表面沉积物。