公开号：	US2007264829A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	表面加工应用材料
专利名：	化学机械抛光使用的泥浆及其方法
摘要：	本文介绍的是一种化学机械抛光浆液，其成分为一种散布在去离子水中的研磨料，和一种能在0.5to3.2cps范围内调节浆液粘度的有机溶剂改进剂。