公开号：	US7465395B2
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	石油工业
专利名：	去除使用环境友好型溶剂产生的残留和物质的组分和方法
摘要：	本发明是关于环境友好型试剂用于溶解或者除去基板上的残留物和/或物质的方法，其中残留物和/或物质用公认的环境友好型试剂溶剂后，从溶剂中把残留物和/或物质取出，比如，通过接触二氧化碳。