公开号：	US2007113648A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	基于湿度敏感膜的湿度传感器及其使用方法
摘要：	湿度传感器包括：传感芯片，上面装有电容性湿敏组件；连接电极，此处有带有湿敏薄膜的电容性湿敏组件，湿敏薄膜具有随时度变化的相对介电常数，连接电极与湿敏组件电气相连；铅板与连接电极电气相连；覆盖连接电极和铅板连接处的铸模。铸模配置在传感芯片上，并且有凹槽。湿敏薄膜安装在凹槽内部。湿敏薄膜高度与凹槽相同，低于或等于铸模表面。湿敏薄膜相对于凹槽的高度是均匀的。