公开号：	US2007113658A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	表面声波压力传感器
摘要：	表面声波压力传感器包括：基板和弹性薄膜，薄膜覆盖在基板深度方向上的孔上，薄膜根据液体施加在其上的压力是弹性可变的，它覆盖孔两端的两个相对的面；SAW装置包括覆盖在薄膜层上的压电材料层，还应该有装在压电层上的电声换能器。压电层是由于薄膜和极板上压电材料沉积后整合在半导体材料的芯片上形成的，薄膜是悬浮在孔上的芯片上的一个组成层。