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  US2007039170A1 三维金属微加工过程和设备 化学 金属材料的缓蚀、防积..
  US2007035200A1 微电机械系统中横梁的弯曲变形 化学 金属材料的缓蚀、防积..
  US2007034603A1 反应离子刻蚀方法以及在刻蚀过程中增加光刻.. 化学 金属材料的缓蚀、防积..
  US2007034599A1 纳米尺度电子刻蚀 化学 金属材料的缓蚀、防积..
  US2007026682A1 先进多重时间刻蚀方法 化学 金属材料的缓蚀、防积..
  US2007022954A1 气体处理设备和散热方法 化学 金属材料的缓蚀、防积..
  US2007017446A1 基底处理设备 化学 金属材料的缓蚀、防积..
  US2007012659A1 通过调节RF刻蚀频率和功率实现高长径比刻.. 化学 金属材料的缓蚀、防积..
  US2007000868A1 干法刻蚀方法 化学 金属材料的缓蚀、防积..
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